Studium tenkých kovových vrstev na polymerním filmu

Autor:             Petr Slepička

Ročník:           5.

Ústav:             Ústav inženýrství pevných látek

Školitel:          Doc.RNDr. Vladimír Rybka DrSc.

Tenké kovové vrstvy nacházejí široké uplatnění zejména v elektronice (aktivní i pasivní prvky), ale i v jiných oblastech (např. v potravinářství při balení potravin). Vývoj elektroniky směřuje ke stále se zmenšujícím rozměrům součástek, s tím souvisí také zmenšování tloušťky vrstev, což je doprovázeno i výraznou změnou jejich charakteru. Tenké kovové vrstvy (Au, Ag) byly připraveny metodou katodového naprašování na PET (polyethylentereftalát, tloušťka 50mm). Byla studována jejich homogenita, spojitost a tloušťka v závislosti na době naprašování při konstantní velikosti proudového výboje zdroje. Tloušťky kovu větší než 20 nm byly měřeny na profilometru Talystep. Práce se zabývá zejména studiem ultratenkých vrstev naprášeného kovu (< 20 nm). Spojitost (souvislost) těchto vrstev byla studována měřením jejich elektrického odporu a měřením odrazu stojatého vlnění. Tloušťky vrstvy menší než 20 nm byly určeny pomocí vyhodnocení jejich UV-VIS spekter. Jako kontrolní metoda byla použita atomová absorpční spektroskopie (AAS).  Za těchto experimentálních podmínek bylo zjištěno, že vrstva Au je souvislá při tloušťce 10 nm a vyšší. Souvislá, avšak nehomogenní je od 4 do 10 nm, při tloušťce menší než 4 nm je nesouvislá. Stříbro vykazuje podobné charakteristiky, avšak oproti Au jsou jeho souvislé vrstvy nehomogenní. Tvoří ostrůvky, které jsou patrné i u souvislých vrstev.